據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)公開數(shù)據(jù)統(tǒng)計，工藝設(shè)備中的 CVD、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備國產(chǎn)化趨勢明顯，而光刻、離子注入、工藝控制、涂膠/顯影等關(guān)鍵設(shè)備仍 100%依賴進(jìn)口品牌。鑒于華虹（無錫）項目后續(xù)設(shè)備采購可持續(xù)，加上90-55nm 的 12 英寸特殊工藝生產(chǎn)線還有廈門士蘭微、上海積塔半導(dǎo)體等已啟動在建項目，積淀 10多年的老牌國產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商迎來 5-10年時代大機(jī)遇。

華虹（無錫）項目：90-55nm 制程的 12 英寸特色工藝產(chǎn)線，類似產(chǎn)線還有上海積塔半導(dǎo)體、廈門士蘭微已開工建設(shè)。

華虹（無錫）項目總投資超 100 億美元，一期投資 25 億美元，將新建月產(chǎn)能為 4 萬片的 12 英寸特色集成電路生產(chǎn)線，工藝等級 90-65/55nm，預(yù)計分 4-5 年完成一期投資，年均投入 5-6 億美元。目前廠房已通電，正在做潔凈室；預(yù)計 2019 年 6 月開始工藝設(shè)備進(jìn)廠，截至目前工藝設(shè)備招標(biāo)對應(yīng)首個 1 萬片/月產(chǎn)能，除輔助設(shè)備外累計招投標(biāo)約 160 臺設(shè)備。工藝等級類似，總投資規(guī)模超 200億元的規(guī)劃項目還有上海積塔半導(dǎo)體、廈門士蘭微項目，均有大量國產(chǎn)設(shè)備放量機(jī)會。

截至目前，總體國產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)的數(shù)量占比 14%，剔除量測口徑下國產(chǎn)化率 20%左右。

工藝設(shè)備已中標(biāo)數(shù)據(jù)中，包括光刻機(jī) 3 臺，刻蝕設(shè)備 18 臺，CVD20 臺，離子注入機(jī) 10 臺，清洗設(shè)備 19 臺，PVD9 臺，CMP8 臺，量測設(shè)備 53 臺，還有退火、涂膠、顯影等設(shè)備 17 臺。

總體國產(chǎn)設(shè)備占比 14%，不包含量測設(shè)備口徑下的國產(chǎn)化率為 21%。總共有 158 臺工藝設(shè)備招標(biāo)，國產(chǎn)設(shè)備中標(biāo) 22 臺，進(jìn)口設(shè)備中標(biāo) 136 臺。

各類關(guān)鍵工藝設(shè)備國產(chǎn)化差異大，刻蝕、清洗、CMP 等國產(chǎn)化趨勢明顯。本次招標(biāo)關(guān)鍵工藝設(shè)備中，刻蝕、清洗、CMP、CVD、PVD 的國產(chǎn)化率依次是 33%、26%、25%、10%、11%，退火設(shè)備國產(chǎn)化率 40%，去膠設(shè)備國產(chǎn)化率 100%（亦莊國投已收購 Mattson）。關(guān)鍵工藝設(shè)備中，離子注入機(jī)、光刻機(jī)、顯影設(shè)備、鍍銅、涂膠等的國產(chǎn)化率為 0，100%依賴于進(jìn)口品牌。

中微、盛美、北方華創(chuàng)、拓荊、華海清科引領(lǐng)工藝設(shè)備國產(chǎn)化。北方華創(chuàng)中標(biāo) 4 臺設(shè)備，中微半導(dǎo)體中標(biāo) 5 臺刻蝕設(shè)備，盛美半導(dǎo)體中標(biāo) 5 臺清洗設(shè)備，華海清科中標(biāo) 2 臺 CMP 設(shè)備，沈陽拓荊中標(biāo) 2 臺 CVD設(shè)備，Mattson 中標(biāo) 4 臺去膠設(shè)備，合計 22 臺設(shè)備。根據(jù)產(chǎn)線進(jìn)度規(guī)劃，我們估計目前已中標(biāo)的設(shè)備將在三季度陸續(xù)搬運進(jìn)廠，三、四季度大概率會確認(rèn)收入。

投資建議：繼續(xù)看好半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)從華虹（無錫）項目設(shè)備中標(biāo)看，老牌國產(chǎn)工藝設(shè)備廠商已在非先進(jìn)制程上具備進(jìn)口替代實力，將明顯受益于國內(nèi) 12 英寸特殊集成電路工藝產(chǎn)線建設(shè)。

從 ASML、TSMC 等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈巨頭對行業(yè)展望看，半導(dǎo)體行業(yè)及半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)周期底部確立，5G、AI、IoT 等開啟新一輪半導(dǎo)體大周期。強(qiáng)烈推薦北方華創(chuàng)、精測電子、晶盛機(jī)電，建議關(guān)注盛美半導(dǎo)體、長川科技。

風(fēng)險因素：中國大陸存儲廠商投產(chǎn)延緩全球存儲芯片周期復(fù)蘇；中美貿(mào)易戰(zhàn)繼續(xù)影響全球經(jīng)濟(jì)健康發(fā)展